Teknologiløsninger til gasleveringssystemer med høj renhed til halvlederprocesser

Gasrørsteknologi med høj renhed er en vigtig del af gasforsyningssystemet med høj renhed, som er den vigtigste teknologi til at levere den krævede gas med høj renhed til brugsstedet og stadig opretholde den kvalificerede kvalitet; Gasrørsteknologi med høj renhed inkluderer det korrekte design af systemet, udvælgelsen af ​​fittings og tilbehør, konstruktion og installation og test. I de senere år har de stadig strenge krav til renhed og urenhedsindhold i gasser med høj renhed i produktionen af ​​mikroelektronikprodukter repræsenteret af storskala integrerede kredsløb foretaget rørteknologien til høje rimelighedsgasser, der stadig er mere bekymrede og fremhævet. Følgende er et kort overblik over gasrør med høj rør fra materialeudvælgelseof konstruktion samt accept og daglig ledelse.

Typer af almindelige gasser

Klassificering af almindelige gasser i elektronikindustrien：

Almindelige gasser（Bulkgas）: brint (h₂₎, nitrogen (n₂), ilt (o₂), argon (a₂) osv.

Specialgasserer sih₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,HCL,CF₄ ,NH_3,Pocl_3, SIH2CL₂ SIHCL3,NH_3,  Bcl_{3 ,}Sif₄ ,CLF₃ ,Co,C₂F_6, N2O,F_2,HF,HBR SF₆…… osv.

De typer af specielle gasser kan generelt klassificeres som ætsendegas, giftiggas, brandfarliggas, brændbargas, inertgasosv. De almindeligt anvendte halvledergasser klassificeres generelt som følger.

(i) ætsende / giftiggas: HCL, BF₃, Wf₆, HBR, SIH₂Cl₂, NH₃, Ph₃, Cl₂, Bcl₃... osv.

(ii) Brandbarhedgas: H₂, Kap₄, Sih₄, Ph₃, Ash3, Sih₂Cl₂, B₂H₆, CH2F_2,CH₃F, co… osv.

(iii) Brændbarhedgas: O₂, Cl₂, N₂O, NF₃... osv.

(iv) inertgas: N₂, Jf₄, C₂F₆, C₄F_8,Sf₆, Co₂, NE, KR, han… osv.

Mange halvledergasser er skadelige for den menneskelige krop. Især nogle af disse gasser, såsom SIH₄ Spontan forbrænding, så længe en lækage reagerer voldsomt med ilt i luften og begynder at brænde; og aske₃Meget giftig, enhver lille lækage kan forårsage risikoen for menneskeliv, det er på grund af disse åbenlyse farer, så kravene til sikkerhed for systemdesignet er særlig høje.

Anvendelsesomfang af gasser  

Som et vigtigt grundlæggende råmateriale i moderne industri bruges gasprodukter i vid udstrækning, og et stort antal almindelige gasser eller specielle gasser bruges i metallurgi, stål, olie, kemisk industri, maskiner, elektronik, glas, keramik, byggematerialer, konstruktion, fødevareforarbejdning, medicin og medicinske sektorer. Anvendelsen af ​​gas har især en vigtig indflydelse på højteknologien på disse felter og er dens uundværlige råmateriale gas eller procesgas. Kun med behov og promovering af forskellige nye industrisektorer og moderne videnskab og teknologi kan gasindustriprodukterne udvikles af spring og grænser med hensyn til variation, kvalitet og mængde.

Gasanvendelse i mikroelektronik og halvlederindustri

Brugen af ​​gas har altid spillet en vigtig rolle i halvlederprocessen, især halvlederprocessen er blevet vidt brugt i forskellige brancher, fra den traditionelle ULSI, TFT-LCD til den aktuelle mikroelektro-mekaniske (MEMS) industri, som alle bruger den såkaldte halvlederproces som fremstillingsprocessen for produkter. Gassens renhed har en afgørende indflydelse på ydeevnen for komponenter og produktudbytte, og sikkerheden ved gasforsyningen er relateret til personalets sundhed og sikkerheden ved planteoperationer.

Betydningen af ​​rørledning med høj rør ved gastransport med høj renhed

I processen med smeltning og fremstilling af rustfrit stål kan ca. 200 g gas absorberes pr. Ton. Efter behandlingen af ​​rustfrit stål absorberede ikke kun dens overflade med forskellige forurenende stoffer, men også i dets metalgitter også en vis mængde gas. Når der er luftstrøm gennem rørledningen, absorberer metallet, at denne del af gassen kommer ind i luftstrømmen og forurener den rene gas. Når luftstrømmen i røret er diskontinuerlig strømning, adsorberer røret gassen under tryk, og når luftstrømmen holder op med at passere, danner gas, der adsorberes af røret, et trykfald til at løse, og den opløste gas kommer også ind i den rene gas i røret som uro. På samme tid gentages adsorptionen og opløsningen, så metallet på den indre overflade af røret også producerer en vis mængde pulver, og dette metalstøvpartikler forurener også den rene gas inde i røret. Dette kendetegn ved røret er afgørende for at sikre renheden af ​​den transporterede gas, som ikke kun kræver en meget høj glathed på den indre overflade af røret, men også en høj slidstyrke.

Når gassen med stærk ætsende ydeevne anvendes, skal korrosionsbestandige rustfrie stålrør bruges til rør. Ellers vil røret producere korrosionssteder på den indre overflade på grund af korrosion, og i alvorlige tilfælde vil der være et stort område med metalstripping eller endda perforering, hvilket vil forurene den rene gas, der skal distribueres.

Forbindelsen mellem høj renhed og højrensnethedsgastransmission og distributionsrørledninger med store strømningshastigheder.

I princippet er alle af dem svejset, og de anvendte rør er påkrævet for ikke at ændre organiseringen, når svejsning påføres. Materialer med for højt kulstofindhold er underlagt luftpermeabiliteten af ​​de svejsede dele, når svejsning, hvilket gør gensidig penetration af gasser inden for og uden for røret og ødelægger renheden, tørheden og renligheden af ​​den transmitterede gas, hvilket resulterer i tab af alle vores bestræbelser.

I sammendraget er det til højrenhedsgas og speciel gasoverførselsrørledning nødvendigt at bruge en speciel behandling af rørstjørrør med høj rustning for at fremstille rørledningssystem med høj rørhed (inklusive rør, fittings, ventiler, VMB, VMP) i gasfordeling af gasfordeling med høj renhed, der besætter en vigtig mission.

Generelt koncept om ren teknologi til transmission og distributionsrørledninger

Meget ren og ren gaskropstransmission med piping betyder, at der er visse krav eller kontroller for tre aspekter af den gas, der skal transporteres.

Gasrenhed: Indholdet af urenhedsatmosfære i GGAS -renheden: Indholdet af urenhedsatmosfære i gassen, som normalt udtrykt som en procentdel af gasrenhed, såsom 99.9999%, også udtrykt som volumenforholdet for urenhedsstemningens indhold PPM, PPB, PPT.

Tørhed: Mængden af ​​sporfugtighed i gassen eller det kaldte vådhed, der normalt udtrykkes i form af dugpunkt, såsom atmosfærisk tryk dugpunkt -70. C.

Renlighed: Antallet af forurenende partikler indeholdt i gas, partikelstørrelse på µm, hvor mange partikler/m3, der skal udtrykke, for trykluft, udtrykkes normalt også med hensyn til hvor mange mg/m3 uundgåelige faste rester, der dækker olieindholdet.

Klassificering af forurenende størrelse: forurenende partikler, henviser hovedsageligt til pipeline-skurning, slid, korrosion genereret af metalpartikler, atmosfæriske sodpartikler samt mikroorganismer, fager og fugtholdige gaskondensationsdråber osv., I henhold til størrelsen af ​​dens partikelstørrelse er opdelt i

a) Store partikler - partikelstørrelse over 5μm

b) Partikel-materialediameter mellem 0,1μm-5μm

c) Ultra-mikropartikler-partikelstørrelse mindre end 0,1μm.

For at forbedre anvendelsen af ​​denne teknologi, for at være i stand til at opfatte forståelse af partikelstørrelse og μm enheder, tilvejebringes et sæt specifik partikelstatus til reference til reference

Følgende er en sammenligning af specifikke partikler