Produktionsprocessen for elektroniske specialgasser inkluderer adskillige processer, såsom syntese, oprensning, fyldning, analyse og test, blanding og proportionering. For at imødekomme kravene til produktionskrav nedstrøms til halvleder for renhed og urenhedsindhold er oprensningsprocessen meget vigtig. Afhængig af sammensætningen af opstrøms syntese gas eller rågas, udføres lavtemperaturdestillation eller multi-trins rensning.
Krav med høj renlighed
Forberedelsesprocessen for elektroniske specielle gasser kan opdeles i to større blokke af opstrøms synteseforberedelse og oprensning, der hører til den kemiske produktionsproces. Størrelsen på produktionsrørledningen er stor, og der er ikke noget særligt krav om renlighedsniveau. Efter nedstrømsoprensning er produktet fyldt med gas og blandet til forberedelse. Produktionsrørledningen er lille og har krav til renlighedsniveau. Det skal opfylde standardspecifikationen af halvlederproduktionsprocessen.
Krav til høj tætning
På grund af deres kemiske aktivitet stiller elektroniske specialgasser også høje krav til materialerne og tætning af produktionsprocesystemet. Ligesom kravene til fremstilling af halvleder, forhindrer det grænsefladelækage forårsaget af indførelsen af urenheder eller korrosion af specielle gasser. Systemet kan også bruges til at forhindre introduktion af urenheder eller lækage af interface forårsaget af korrosion af specielle gasser.
Krav til stabilitet i høj kvalitet
Kvaliteten af elektroniske specialgasser inkluderer en række indikatorer såsom renhed og urenhedspartikelindhold. Enhver ændring i indikatorerne vil påvirke resultaterne af produktionsprocessen nedstrøms halvleder. For at sikre konsistensen af de elektroniske specielle gasproduktindikatorer er forberedelsesprocessesystemet til at kontrollere indikatorens stabilitet også meget vigtig.
På grund af de kemiske aktivitets- og kvalitetskrav til EGP skal produktionssystemet til EGP -forberedelse, især nedstrømsoprensningssystemet, opfylde kravene i materialer med høj renhed, høj tætning, høj renhed og konsistens af høj kvalitet, og konstruktionen af konstruerede komponenter skal opfylde standarderne for halvlederproduktionsindustrien.
Det, vi ofte omtaler som "høj renhed", er teoretisk definitionen af renheden af et stof, såsom kemner med høj renhed, kemikalier med høj renhed osv. Processystemer eller processystemkomponenter, der anvendes til stoffer med høj renhed, kaldes også stoffer med høj rensning, såsom højrulitetssystemer og højrulitetsvalver. Elektroniske specialiserede gasforberedelsessystemer kræver fittings, ventiler med høj renhed, ventiler og andre væskekomponenter, dvs. fittings og ventiler, der er behandlet med materialer med høj renhed og rene fremstillingsprocesser og er struktureret til let rensning og rengøring. Med høj tætningspræstation. Disse fluidkomponenter er designet til at imødekomme applikationens processtrømningsvej ved hjælp af tekniske og konstruktionskrav i halvlederindustrien.
Rørforbindelser med høj renhed
VCR Metal Pakning Face Seal Connections og Automatic Guide Butt Weld -forbindelser er vidt brugt til at kræve væske -renhedsprocesskrav på grund af evnen til at imødekomme både glat overgang af strømningsstien ved forbindelsen, ingen stagnationszone og høj forseglingsydelse. VCR -forbindelser danner en smal overfladeforsegling ved at ekstrudere en relativt soft metalpasket. Gentagelig og konsekvent forbindelse og forseglingsydelse er sikret, hver gang den deformerede pakning fjernes og udskiftes.
Rør svejses ved hjælp af et automatisk orbital -svejsesystem. Røret er beskyttet af høj renhedsgas indefra og ud. Wolframelektroden roterer langs bane til svejsning af høj kvalitet. Fuldautomatiseret orbital-svejsning smelter røret uden at introducere andre materialer, det er vanskeligt at opnå en svejsning af høj kvalitet ved gentagne gange at kontrollere tyndvægget rør med manuel svejsning.
VCR Metal Pakning Face Seal Connection
Automatisk orbital røv svejsning tilslutning af rør
Ventiler med høj renhed
Den kemiske aktivitet af brandfarlige, eksplosive, ætsende og giftige elektroniske specialgasser stiller høje krav til forsegling af ventilen. For at forbedre forseglingens pålidelighed er kravet om pakningsløse ventiler for at forhindre ekstern lækage, det vil sige skifte til drift af ventilstammen og ventilkroppen mellem tætningen ved hjælp af metal bælge eller metalmembran for at eliminere lækage på grund af slid og pakningsdeformation. Bælgeforseglede og membranforseglede ventiler bruges ofte i processystemer til applikationer med høj renhed på grund af den større pålidelighed af sælerne og den lettere rengøring og rensning af udskiftning af ventilinternalerne.
Bælgeforseglede ventiler er en pakningsløs nålekonstruktion, der giver mulighed for langsom åbning og flowregulering. Bruges til elektronisk specialgasfyldning med krav til sikkerhedsstrøm eller på forløberkildeflasker med høje sikkerhedskrav. STEM-spidsforseglingerne i alle metal giver mulighed for ekstremt lave driftstemperaturer og bruges til kryogen flydende virkning af elektroniske specialgasser i færdige produkttanke efter kryogen destillation til rørledning.
Forårløs membranforseglingsventil er en 1/4 ″ snap-åben ventil til brug som en automatisk kontrolleret skifteventil i leveringsrør. De bruges ofte i ultrahøjt tryk, højrulhedsapplikationer på grund af deres enkle interne flowsti, lille intern volumen og let at rensere og udskiftes.
Membranforseglede ventiler, der lukkes via stamspidsen, kan åbnes langsomt og bruges ved højere driftstryk end ikke-sprungmembranforseglede ventiler. De er vidt brugt på højtryks elektronisk specialgasfyldning eller precursor-kildeflasker.
Den sekundære tætningsbælgeventil kan ikke kun bruges i ultra -lav temperaturprocesystemer ved -200 grader, men forhindrer også lækage af farlige medier i atmosfæren. Normalt brugt til meget farlige elektroniske specielle gasser, såsom silanfyldningssystem.
Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, med over 10 års erfaring med udbuddet af industrielle og specialgasser, materialer, gasforsyningssystemer og gasteknik til halvlederen, LED, DRAM, TFT-LCD-markeder, kan vi give dig de nødvendige materialer til at skubbe dine produkter i forkant af industrien. Vi kan ikke kun levere en lang række ventiler og fittings til semi-ledende elektroniske specialgasser, men vi kan også designe gasrør og udstyrsinstallation til vores kunder. Hvis du har behov på dette område, bedes du kontakte os på 27919860.
Posttid: Jul-19-2023