Brugen af gasser i halvlederindustrien går tilbage til de tidlige 1950'ere til 1960'erne. Under fremstillingsprocessen for halvlederen bruges gasser hovedsageligt til at rengøre og beskytte halvledermaterialer for at sikre deres renhed og kvalitet. Blandt de mest almindeligt anvendte gasser er nitrogen og brint.
Efterhånden som halvlederteknologi udviklede og fremstillingsprocesser fortsatte med at forbedre sig, steg efterspørgslen efter gasser. I 1970 steg yderligere udvikling af halvlederproduktionsteknologi, anvendelsen af gasser i nøgleprocesser, såsom ætsning og afsætning af tynde film, og fluoridgasser (f.eks. SF6) og ilt blev ofte anvendt ætsning og afsætningsgasser. 1980 oplevede en yderligere stigning i efterspørgslen efter gasser med udviklingen af integrerede kredsløb og stigningen i efterspørgslen efter dem. Hydrogen blev vidt brugt i fremstillingsprocessen, herunder hydrogenudglødning og brintdampaflejring. Og fra 1990 til nutiden er efterspørgslen efter gasser med høj renhed og specifikke gasser steget, efterhånden som halvlederindretningsstørrelserne er fortsat med at krympe, og nye processer er blevet indført. For eksempel kræver anvendelse af ekstrem ultraviolet litografi (EUV) anvendelse af ekstremt høj renhedsgasser, såsom nitrogen og brint.
Halvledergas fortsætter med at stige med udviklingen af relaterede produkter, der er drevet af flere og flere produkter, afsløres, mens gassen også hører til kilden til fare, så de produkter, der bruges til gasdekompression, gasdetektionsprodukter og forhindrer gaslækageprodukter, er fremhævet, såsom trykregulatorer, gasventiler, gastrykmålere, gaslækage detektor osv., Og deres roller er som følger: følger:
Trykregulatorer: Trykregulatorer er enheder, der bruges til at kontrollere gastrykket. De består normalt af en regulatorventil og en tryksensor. Trykregulatorer tager en højtryksgasindgang og stabiliserer trykket fra udgangsgassen ved at justere ventilen for at imødekomme specifikke applikationskrav. Trykregulatorer er vidt brugt inden for områder som industri, fremstilling og laboratorier såvel som i halvlederindustrien blandt andre for at sikre stabiliteten og sikkerheden i gasforsyningen.
Gasventiler: Gasventiler bruges til at kontrollere strømmen af gasser og til at lukke gaspassager. De har normalt en on/off -funktion, der åbner eller lukker gasstrømmen. Der er forskellige typer gasventiler, herunder manuelle ventiler, elektriske ventiler og pneumatiske ventiler. De er vidt brugt i gassystemer til at kontrollere strøm, tryk og strømningshastighed for gasser.
Gastrykmålere: Gastrykmålere bruges til at måle trykniveauet for en gas. De installeres normalt på kritiske steder i gassystemer for at overvåge trykændringer og sikre, at de er inden for sikre grænser. Gastrykmålere er vidt brugt i industri, fremstilling og laboratorier, og halvlederindustrien har også været involveret.
Gaslækningsdetektorer: Gaslækagedetektorer bruges til at detektere lækager i gassystemer. De registrererTilstedeværelsen af gaslækager og lyd en alarm, så der kan træffes rettidig handling for at forhindre lækageulykker. Gaslækningsdetektorer er vidt brugt i industrielle, kemiske, olie- og gasapplikationer, og halvlederindustrien har også været involveret.
Posttid: Feb-20-2024