De forskellige kemikalier og gasser, der bruges i fremstilling af halvleder, kræver robuste væskesystemer til uafbrudt forsyning på alle produktionsfaser. Disse væskesystemer skal være i stand til at understøtte de ekstreme procesbetingelser, der kræves til fremstilling af halvlederproduktion, samtidig med at de sikrer en ren, lækagefri og kontrolleret proces. Derfor er udvælgelsen af væskesystemkomponenter kritisk i den præcisions halvlederfremstillingsproces.
Valg af væskesystemkomponenter af høj kvalitet er synonymt med øget produktionseffektivitet og reduceret systemnedstop. Med hensyn til fremstillingsprocessen for halvlederen vil vi diskutere den kritiske rolle af væskesystemkomponenter og vigtigheden af deres pålidelighed.
Betydningen af væskesystemkomponenter i halvlederproduktion
Væskesystemkomponenter i halvlederproduktion inkluderer forskellige kemiske blandings-, transport- og kontrolsystemer til sikkert at transportere kemiske væsker i et kontrolleret miljø. Et ideelt væskesystem har:
➢ ensartet kemisk blanding
➢Kontamineringskontrol
➢Memperatur og trykstyring
➢uninterrupt kemisk forsyning
Kun de højeste kvalitetskomponenter kan give sådanne ideelle forhold i et halvledervæskesystem. Fordelene ved at bruge sådanne komponenter inkluderer:
Præcis: Komponenter som ventiler, regulatorer og pumper fungerer i tandem for at sikre, at den korrekte andel af kemikaliet leveres til produktionscellen. Præcise input eliminerer risikoen for strømningsvariationer, hvilket forbedrer kvaliteten af det endelige produkt.
Kompatibilitet og renlighed: Væskesystemkomponenter med materialesammensætninger, der er kompatible med procesvæsker, reducerer risikoen for forurening. Derudover reducerer den lækfrie installation af disse væskesystemkomponenter partikelformige forurenende stoffer, hvilket giver et rent og kontrolleret produktionsmiljø for forbedrede udbytter.
Sikkerhed: Gasser og kemikalier, der bruges i fremstilling af halvleder, kan være skadelig for menneskers sundhed. Imidlertid kan væskesystemkomponenter designet til at forhindre lækager og spild levere disse væsker til produktionsenheder på en sikker og kontrolleret måde.
Effektivitet: Den lækfrie konstruktion og præcis kontrol af væske-komponenter af høj kvalitet minimerer drifts nedetid og hyppige vedligeholdelseskrav, hvilket fremmer glat, effektiv fremstilling for at opfylde produktionsmålene.
Kvalitet fremstillede fluid systemkomponentløsninger
Væskesystemkomponenter kræver installationer af høj kvalitet for at imødekomme udfordringerne ved fremstilling af halvleder. Nøglekomponenter, der påvirker FAB, inkluderer:
Ventiler: højtydende ventiler, såsom membran, bælge eller nålventiler, regulerer ideelt væskestrøm i produktionsfaciliteter. Holdbare ventiler af høj kvalitet giver den præcision og kontrol, der er nødvendig for at forbedre effektiviteten af produktions- og håndteringsprocesser til fremstilling af kritisk halvleder.
Fittings: Fittings med høj renhed til slanger og slangesystemer og andre kritiske komponenter giver forseglede forbindelser til at forbedre sikkerheden og renheden af væskesystemkomponenter.
Slanger: Til præcisionsproduktionskrav hjælper isolerede slanger i termisk styring, så processforholdene inden for produktionsrummet kan opretholdes optimalt. Dette er vigtigt, fordi den mindste temperatursvingning kan skade chips og føre til produktionsaffald.
Fleksibel slange: Hvor forholdene tillader, kan fleksible slange bruges til at reducere antallet af fittings i en væskesystemenhed. Slangen er bøjet for at opnå den ønskede væskesti. Færre fittings betyder mindre risiko for lækager og skader på grund af vibrationer og bevægelse.
Tilsynsmyndigheder: Tilsynsmyndigheder kontrollerer effektivt pres på hvert trin i halvlederproduktionsprocessen. Konstant og nøjagtig strømning opnår konsistente udbytter af høj kvalitet, mens de undgår spildte væskeekemikalier og specialmaterialer.
Filtre: En enkelt partikel kan påvirke halvlederpræstation. Brugen af ultrahøj renhedsfiltre eliminerer partikelforurening og minimerer chipskader.
Væskesystemets effektivitet i fremstilling af halvleder kan opnås med AFK-loks brede vifte af ventiler af høj kvalitet, fittings, regulatorer, slanger og filtre.
Posttid: Okt-09-2023