Udstyr til behandling af halegas kan håndtere gasser, der anvendes i ætsningsprocesser og kemiske dampaflejringsprocesser i halvleder-, flydende krystal- og solenergiindustrien, herunder SiH4, SIH2CL2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O og SO.
Metode til behandling af udstødningsgas
I henhold til karakteristika ved udstødningsgasbehandling kan behandlingen opdeles i fire typer behandling:
1. Vandvasketype (behandling af ætsende gasser)
2. oxideringstype (håndtering af brændbare og giftige gasser)
3. Adsorption (i henhold til typen af adsorptionsmateriale, der skal håndtere den tilsvarende udstødningsgas).
4.Plasma Forbrændingstype (alle typer udstødningsgasser kan behandles).
Hver type behandling har sine egne fordele og ulemper samt dens anvendelsesområde. Når behandlingsmetoden er vandvask, er udstyret billigt og enkelt og kan kun håndtere vandopløselige gasser; Anvendelsesområdet for den elektriske vandvasketype er højere end vandvasketypen, men driftsomkostningerne er høje; Den tørre type har god behandlingseffektivitet og gælder ikke for den gasstrøm, der er let at blive tilstoppet eller flydet.
Kemikalier og deres biprodukter, der ofte bruges i halvlederindustrien, kan kategoriseres i henhold til deres kemiske egenskaber og deres forskellige intervaller:
1. brandfarlige gasser såsom SiH4H2 osv.
2. giftige gasser såsom ASH3, PH3 osv.
3. ætsende gasser såsom HF, HCL osv.
4. drivhusgasser såsom CF4, NF3 osv.
Da de ovennævnte fire gasser er skadelige for miljøet eller menneskekroppen, skal det forhindre dens direkte emission i atmosfæren, så den generelle halvlederanlæg er installeret med et stort centraliseret udstødningsgasbehandlingssystem, men dette system er kun vandskrubberende udstødning, så dens anvendelse er begrænset til langdistansens vandopløselige gasser og kan ikke håndtere den stadigt forfaldne og subtile opdeling af Semiconductor-processen. Udstødningsgas. Derfor er det nødvendigt at vælge og matche det tilsvarende udstyrsudstyr til udstødningsgas i henhold til de gasegenskaber, der stammer fra hver proces for at løse udstødningsgasproblemet på en lille måde. Da arbejdsområdet for det meste er væk fra det centrale udstødningsgasbehandlingssystem, fører ofte på grund af gasegenskaber til krystallisation eller støvopsamling i rørledningen, hvilket resulterer i tilstopning af rørledningen, der fører til gaslækage, og i alvorlige tilfælde kan endda forårsage en eksplosion ikke sikre, at webstedets personale arbejdssikkerhed. Derfor er det nødvendigt at konfigurere et lille udstødningsgasbehandlingsudstyr, der er egnet til egenskaberne ved procesgassen, for at reducere den stillestående udstødningsgas i arbejdsområdet for at sikre et lille udstødningsgasbehandlingsudstyr, der er egnet til egenskaberne ved procesgassen.
Posttid: Aug-10-2023